该软件的所有版本都可使用 XRF 的 FP 方法或电子束生成光谱的 ZAF 方法处理 Amptek 探测器和信号处理器的原始 X 射线光谱，以获得 (1) 元素峰强度（即每个元素对应的峰面积除以活时时间）以及 (2) 元素浓度和/或膜厚度。
XRS-FP2 现在有集成分析模式。根据购买的软件选项，XRS-FP2 可以在 XRF （块状或多层）模式或 EPXA 模式下运行。在 EPXA 模式下运行时，软件用于分析在配有 EDS 探测器的 SEM 上采集的频谱。